我國自主開發的三氯氫硅優化新工藝達到國際先進水平。記者在山東新龍硅業科技有限公司采訪時了解到，截至3月24日，優化后的三氯氫硅裝置不僅實現了三個月的長周期穩定運行，轉化率和產品純度也再創新高，轉化率相比去年提高了10%左右，產品純度提高到99.99%，單爐產能也由同行業最大的5000噸/年提高到12000噸/年，擴大了兩倍多。

據了解，優化后的三氯氫硅合成用新型高效高產流化床新工藝不久前通過了專家鑒定。鑒定專家認為，該項目工藝路線合理，產品質量穩定，節能效果明顯，生產過程符合環保要求，具有顯著的經濟和社會效益，總體技術達到國際先進水平。

據該公司技術人員介紹，三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯劑和其他有機硅產品的重要中間體，也是制造多晶硅的主要原料，是氯堿企業的一種很好的平衡氯氣提高經濟效益的產品。傳統工藝合成三氯氫硅時，合成工序采用的是冷卻水傳熱流化床。受限于流化床本身的結構，很難將溫度控制在適宜的320℃，因此合成的粗品三氯氫硅產品純度一般不會超過90%。同時傳統工藝尾氣處理環節一直采用干法除塵，如硅粉和氯化氫處理不徹底，會堵塞冷凝器，導致停車。

針對冷卻水傳熱流化床存在的缺陷，新龍公司開發了新型高效高產流化床反應器。該反應器在生產中先用l熱油把反應器中熱量帶出來，然后再用水在余熱鍋爐中對導熱油降溫，從余熱鍋爐中產生出來的蒸汽則輸送到精餾系統進行再利用，精餾系統中產生的冷凝水又可作為余熱鍋爐降溫水使用。這種方式不僅很好地控制了反應器的反應溫度，使反應器溫度波動較小，能夠大幅度提高產品的轉化率，同時還提高了裝置能效，減少了生產用水。

此外，該公司還對三氯氫硅合成氣除塵技術進行了改進，擴大了反應器上半部分，以降低合成氣溫度和速率，減少后續系統的處理量和硅粉粉塵的帶出量，同時又在反應器出口設置了降塵系統，對合成氣中的硅粉粉塵進行初步分離，增強設備運行的穩定性。